低温泵又叫低温真空泵、冷泵、冷凝泵。是利用低温制冷机作为冷源(10K),通过低温冷凝和低温吸附的原理获得高真空的设备。
海迈公司提供的DZB系列低温泵具体如下优点:
1)极限真空高;
2)抽速大;
3)真正洁净;
4)运行成本低;
5)安全可靠;
6)使用方便;
7)寿命长。
DZB系列低温真空泵应用领域
低温泵适合用于希望获得10-1Pa至 10-9Pa真空度的场合,尤其适合应用于要求洁净无油和/或快速抽气的场合,例如:
1)真空排气设备
2)溅射镀膜设备
3)蒸发镀膜设备
4)离子注入设备
5)分子束外延设备
使用以上设备的工业真空镀膜,例如:半导体与集成电路前工序、光学镀膜、太阳能电池板、光电子器件和真空电子器件制造、平板显示器件镀膜
1)电子束设备
2)空间模拟装置
3)高能物理研究装置
4)加速器束流管
5)表面分析装置