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    低温泵又叫低温真空泵、冷泵、冷凝泵。是利用低温制冷机作为冷源(10K),通过低温冷凝和低温吸附的原理获得高真空的设备。

   海迈公司提供的DZB系列低温泵具体如下优点:

1)极限真空高;

2)抽速大;

3)真正洁净;

4)运行成本低;

5)安全可靠;

6)使用方便;

7)寿命长。

 

DZB系列低温真空泵应用领域

低温泵适合用于希望获得101Pa  109Pa真空度的场合,尤其适合应用于要求洁净无油和/或快速抽气的场合,例如:

1)真空排气设备

2)溅射镀膜设备

3)蒸发镀膜设备

4)离子注入设备

5)分子束外延设备

使用以上设备的工业真空镀膜,例如:半导体与集成电路前工序、光学镀膜、太阳能电池板、光电子器件和真空电子器件制造、平板显示器件镀膜

1)电子束设备

2)空间模拟装置

3)高能物理研究装置

4)加速器束流管

5)表面分析装置


 

 


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