一、主要配置
1）真空镀膜机腔体尺寸：1350X1300；
2）主泵：两台DZB550低温泵
二、工艺效果
空载：10min腔体真空度达2X10-3Pa。
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一、主要配置
1）真空镀膜机腔体尺寸：1350X1300；
2）主泵：两台DZB550低温泵
二、工艺效果
空载：10min腔体真空度达2X10-3Pa。
